真空泵油
PFPE真空泵油
真空泵专用之高真空氟醚油是全氟聚醚（PFPE）最重要的应用领域之一。PFPE分子结构中存在着与C-C主键键合的F和O原子，这两种原子具有很强的电负性，因此具有很好的化学稳定性、热稳定性及优异的物理性能。与氯氟烃类润滑剂相比，全氟聚醚润滑剂具有更广泛的使用范围，同时不存在氯氟烃类在高温下易蒸发、低温时变粘变厚的缺点，又由于其分子中不含氯，因而在使用中不会因为润滑剂受压而对设备产生腐蚀。
集成电路等离子蚀刻是在真空条件下进行的，必须使用机械真空泵。由于系统中存在腐蚀性气体，若用矿物真空泵油，则会很快变质。而全氟聚醚具有特殊的化学惰性，而且蒸发性能优良，已经广泛用作集成电路等离子蚀刻的真空泵油。
Advlub系列氟醚油（PFPE）产品具有以下特性：
l 全屏蔽结构，高温稳定性为所有PFPE产品中最佳（250℃以上）；
l 无闪点、燃点、不燃烧；
l 低蒸汽压，低挥发性；
l 金属、塑料、弹性体相容性；
l 化学惰性，耐水及溶剂性能；
l 良好的辐照稳定性；
l 低表面张力，高粘度和良好的润滑性；
l 高介电性能；
l 使用安全，无毒，环境友好。
技术指标：
